检测项目:
TEM制样、投射电镜制样(TEM)-FIB双聚焦离子束
检测范围:
集成电路、芯片
检测标准:
GJB 4027A-2006
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构,这些结构称为亚显微结构或超微结构。
基本原理:
电子与样品相互作用后,透射电子主要分为三大类:透射电子,弹性散射电子和非弹性散射电子。这三类电子各司其职,其中透射电子和弹性散射电子均可用于成像。通过调节电镜参数可以选择性收集成像电子。如果只选择透射电子成像,那么可想而知,没有样品的地方,电子透过的*多,所以观察屏上*亮,样品越重越厚的地方、电子难以透过就越暗。这就是所谓的“明场像”。由于样品厚薄不均,质量不同而导致的明暗差异被称为“质厚衬度”。既然有“明场像”,必然就有“暗场像”。所谓“暗场像”是指“收集”散射(衍射)电子成像。因为质量越大、越厚,其散射越强,所以在暗场下其越亮。
利用FIB进行各类样品的TEM样品制备,包括块体、薄膜、芯片、颗粒等。破坏范围小,可对粉末、微纳米线、文物制样。FIB聚焦离子束就像一把尖端只有数十纳米的手术刀。离子束在靶材表面产生的 二次电子成像具有纳米级别的显微分辨能力,所以聚焦离子束系统相当于一个可以在高倍显微镜下操作的微加工台,它可以用来在任何一个部位溅射剥离或沉积材料。
检测内容:
通过FIB离子束来切割集成电路(芯片)指定失效位置,来微观观测失效原因及掺杂杂质。微电子、半导体以及各型功能器件领域中,由于涉及工艺较多且繁杂。一款器件的开发测试中总会遇到实际结果与设计指标的偏差,器件测试后的失效,逻辑功能的异常等等,对于上述问题的直观可靠的分析就是制备相应的器件剖面,从物理层次直观的表征造成器件异常的原因。
微电子、半导体以及各型功能器件领域中,由于涉及工艺较多且繁杂。一款器件的开发测试中总会遇到实际结果与设计指标的偏差,器件测试后的失效,逻辑功能的异常等等,对于上述问题的直观可靠的分析就是制备相应的器件剖面,从物理层次直观的表征造成器件异常的原因。
无论是透射电镜还是扫描透射电镜样品都需要制备非常薄的样品,以便电子能够穿透样品,形成电子衍射图像。传统的制备TEM样品的方法是机械切片研磨,用这种方法只能分析大面积样品。采用聚焦离子束则可以对样品的某一局部切片进行观察。与切割横截面的方法 一样,制作TEM样品是利用聚焦离子束从前后两个方向加工,在中间留下一个薄的区域作为TEM观察的样品。
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沅陵土家王食品有限责任公司于2000年3月19日注册成立,坐落于湖南西部,地处湘西武陵山深处的沅陵县城。 沅陵县土家王食品有限责任公司主要生产经营湘西土家风味肉类食品“土嘉王”牌腊味系列,湘西土家腌制腊味已有两千多年历史。土家王四品有限责任公司继承湘西土家腊味制作传统工艺,按照现代人的口味,采现代科学配方精心研制的肉类食品。 土家王公司生产的“土嘉王”腊味系列产品在2002年湖南第四届(国际)农博会荣获金奖,“土嘉王”松菌油在2004年湖南西部农博会上荣获金奖,“土嘉王”晒兰肉在2006年被评为“怀化市名牌产品”。土嘉王公司多次被怀化市消费者协会评为“信得过单位”。 公司总部设在湖南省怀化市沅陵县龙泉山,沅陵县土家王食品有限责任公司拥有完整、科学的质量管理体系。沅陵县土家王食品有限责任公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。现公司已通过ISO9001-2000国际质量体系认证,“土嘉王”系列产品如今已闻名全省,正迈向全国市场。
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沅陵土家王食品有限责任公司于2000年3月19日注册成立,坐落于湖南西部,地处湘西武陵山深处的沅陵县城。 沅陵县土家王食品有限责任公司主要生产经营湘西土家风味肉类食品“土嘉王”牌腊味系列,湘西土家腌制腊味已有两千多年历史。土家王四品有限责任公司继承湘西土家腊味制作传统工艺,按照现代人的口味,采现代科学配方精心研制的肉类食品。 土家王公司生产的“土嘉王”腊味系列产品在2002年湖南第四届(国际)农博会荣获金奖,“土嘉王”松菌油在2004年湖南西部农博会上荣获金奖,“土嘉王”晒兰肉在2006年被评为“怀化市名牌产品”。土嘉王公司多次被怀化市消费者协会评为“信得过单位”。 公司总部设在湖南省怀化市沅陵县龙泉山,沅陵县土家王食品有限责任公司拥有完整、科学的质量管理体系。沅陵县土家王食品有限责任公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。现公司已通过ISO9001-2000国际质量体系认证,“土嘉王”系列产品如今已闻名全省,正迈向全国市场。
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